[发明专利]半导体部件在审
申请号: | 201510617160.5 | 申请日: | 2010-08-25 |
公开(公告)号: | CN105185822A | 公开(公告)日: | 2015-12-23 |
发明(设计)人: | H-J.舒尔策;F.普菲尔施 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技奥地利有限公司 |
主分类号: | H01L29/51 | 分类号: | H01L29/51;H01L29/739;H01L29/78 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 臧永杰;姜甜 |
地址: | 奥地利*** | 国省代码: | 奥地利;AT |
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摘要: | 本发明涉及半导体部件,该半导体部件包括半导体主体、位于半导体主体中的沟道区、与沟道区相邻的沟道控制电极、以及位于沟道区和沟道控制电极之间的介电层,其中介电层具有负温度系数的相对介电常数εr。 | ||
搜索关键词: | 半导体 部件 | ||
【主权项】:
一种半导体部件,包括:半导体主体(1);沟道区(2),位于半导体主体(1)中;沟道控制电极(3),与沟道区(2)相邻;介电层(4),位于沟道区(2)和沟道控制电极(3)之间;其中,介电层(4)包括具有负温度系数的相对介电常数εr。
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