[发明专利]一种基于双层弯曲热执行器的可调太赫兹波导滤波器有效
| 申请号： | 201510621166.X | 申请日： | 2015-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN105161807B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 胡江;郑中万;朱侗;屈晓敏;刘双;宣祖好;张勇 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01P1/208 | 分类号： | H01P1/208 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏;王伟 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于双层弯曲热执行器的可调太赫兹波导滤波器，包括E面纵向膜片、双层弯曲热执行器和矩形波导，所述E面纵向膜片水平安装在矩形波导内腔的中部；双层弯曲热执行器水平安装在矩形波导内腔的底部，位于E面纵向膜片下方。本发明所提供的可调太赫兹波导滤波器，将E面纵向膜片和双层弯曲热执行器安装在矩形波导的内腔中，具有工作频率高，调谐范围广，易于制造，通用性强等优点，在太赫兹系统中具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 双层 弯曲 执行 可调 赫兹 波导 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种基于双层弯曲热执行器的可调太赫兹波导滤波器，其特征在于：包括E面纵向膜片(1)、双层弯曲热执行器(2)和矩形波导(3)，所述E面纵向膜片(1)水平安装在矩形波导(3)内腔的中部；双层弯曲热执行器(2)水平安装在矩形波导(3)内腔的底部，位于E面纵向膜片(1)下方；所述E面纵向膜片(1)包括介质基片(109)和设于介质基片(109)上的多个耦合结构，两两相邻的耦合结构之间开设有谐振腔；所述双层弯曲热执行器(2)包括硅衬底(206)和设于硅衬底(206)上的中间方盘，中间方盘的两侧都设有驱动梁(204)，中间方盘上开设有释放孔(205)，所述中间方盘的数量与谐振腔相同，且一一对应，每个中间方盘的大小与其对应的谐振腔大小相同；所述E面纵向膜片(1)的四个角上开设有金属通孔(108)。
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