[发明专利]一种半导体设备等离子腔体用电子匹配器在审
| 申请号： | 201510622763.4 | 申请日： | 2015-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN106558467A | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 吕欣 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)21229 | 代理人： | 甄玉荃 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种半导体设备等离子腔体用电子匹配器，它包括N个固定电容。上述电容串联，并连接于射频电源与等离子体设备腔体之间，射频电源连接到一个固定电容的输入端；选择一固定电感，固定电感的一端接地，固定电感的另一端接到射频电源一侧，或者接到等离子体设备腔体一侧。所述射频电源与固定电容之间连接一系列继电器；所述固定电容与继电器至少两个。本发明设计科学、结构合理，所有电子元器件均为固定式，并且最大限度的利用每个元器件，易于控制，成本低。可以简单、可靠的实现等离子体设备的阻抗匹配。最大限度地降低设备的制造成本和维护成本。可广泛地应用在半导体设备技术领域中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 等离子 体用 电子 配器 | ||
【主权项】：
一种半导体设备等离子腔体用电子匹配器，其特征在于：它包括N个固定电容，上述电容串联，并连接于射频电源与等离子体设备腔体之间，射频电源连接到一个固定电容的输入端；选择一固定电感，固定电感的一端接地，固定电感的另一端接到射频电源一侧，或者接到等离子体设备腔体一侧。
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