[发明专利]一种样品架翻转装置有效
| 申请号： | 201510623043.X | 申请日： | 2015-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN105174161B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 吴建耀;宋克昌;杨国文 | 申请（专利权）人： | 西安立芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B66F19/00 | 分类号： | B66F19/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 胡乐 |
| 地址： | 710077 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提出一种样品架翻转装置，能够保持样品架稳定并满足对样品的双面处理需求，提高工艺处理效率。该样品架翻转装置中，样品架通过支撑机构悬空固定，翻转执行机构和支撑机构分别位于样品架所在水平方向和竖直方向上；所述样品架包括水平的固定框和位于固定框内的转动件，转动件上设置有用于装载待处理样品的贯通孔，转动件通过翻转轴与固定框安装连接；样品架位于处理工位时，所述支撑机构与固定框配合连接固定；需要翻转时，所述翻转执行机构的驱动端沿水平方向与样品架的翻转轴同轴连接固定，支撑机构与固定框脱开，使得翻转执行机构能够带动转动件及其装载的待处理芯片能够相对于固定框翻转运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 样品 翻转 装置 | ||
【主权项】：
一种样品架翻转装置，样品架装载有待处理样品，样品架通过支撑机构悬空固定；其特征在于：所述样品架翻转装置还包括控制器和翻转执行机构，翻转执行机构和支撑机构分别位于样品架所在水平方向和竖直方向上，控制器用于控制支撑机构和翻转执行机构分别与样品架配合连接固定；所述样品架包括水平的固定框和位于固定框内的转动件，转动件上设置有用于装载待处理样品的贯通孔，转动件通过翻转轴与固定框安装连接；样品架位于处理工位时，所述支撑机构与固定框配合连接固定；需要翻转时，所述翻转执行机构的驱动端沿水平方向与样品架的翻转轴同轴连接固定，支撑机构与固定框脱开，使得翻转执行机构能够带动转动件及其装载的待处理样品能够相对于固定框翻转运动。
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