[发明专利]附着物除去方法在审
| 申请号： | 201510626589.0 | 申请日： | 2015-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN105458940A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 清水千博;涩谷纪仁 | 申请（专利权）人： | 新东工业株式会社 |
| 主分类号： | B24C1/00 | 分类号： | B24C1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;金世煜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种附着物除去方法。将在具有弹性的核(10)的表面具备研磨材料(11)的喷射材料(1)对夹具(100)的表面(100a)从倾斜方向以规定的倾斜角α喷射。若喷射材料(1)与附着物(110)碰撞，则核(10)产生弹性变形，研磨材料(11)随着核(10)的变形在夹具(100)的表面(100a)的面方向位移。通过将研磨材料(11)沿面方向进行位移，利用研磨材料(11)在面方向摩擦附着物(110)，从而除去附着物(110)。 | ||
| 搜索关键词： | 附着物 除去 方法 | ||
【主权项】：
一种附着物除去方法，是将成膜工艺中附着于夹具的附着物从所述夹具除去的附着物除去方法，其特征在于，包括：准备喷射材料，其中，所述喷射材料包含具有弹性的核和由硬质粒子构成的研磨材料且在所述核的表面使所述研磨材料粘合而成；对所述夹具的表面从倾斜方向喷射所述喷射材料；在所述喷射材料与所述夹具的所述表面碰撞时，所述核发生弹性变形，使所述研磨材料在所述夹具的所述表面沿面方向位移，从而除去附着物。
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