[发明专利]一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法在审
| 申请号： | 201510627043.7 | 申请日： | 2015-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN105271814A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 庄志杰;周钧 | 申请（专利权）人： | 赛柏利安工业技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 江苏银创律师事务所 32242 | 代理人： | 王纪营 |
| 地址： | 215024 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，在玻璃的表面依次沉积阳光选择滤光膜系、功能连接转换膜系、第一可见光透过增强膜系、第一膜层附着力增强膜系、单银低辐射膜系、第二膜层附着力增强膜系、第二可见光透过增强膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；本发明工艺简单，节能环保。在薄膜正常生产溅射过程中，根据我们设计的膜层匹配组合和材料以及生产工艺，能够达到不对玻璃机体加热，实现整个膜系的常温气相沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阳光 选择 滤光 节能 玻璃 薄膜 沉积 方法 | ||
【主权项】：
一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于：所述阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃从内到外依次为玻璃基体、阳光选择滤光膜系、功能连接转换膜系、第一可见光透过增强膜系、第一膜层附着力增强膜系、单银低辐射膜系、第二膜层附着力增强膜系、第二可见光透过增强膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；在薄膜正常生产溅射过程中，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置靶材，调节玻璃的传送速度为3～8m/min；每对阴极上所施加的功率为20～60kw，施加在靶材上的电流为50～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％。
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