[发明专利]一种超薄多晶硅太阳能电池片的制备方法

摘要

本发明公开了一种超薄多晶硅太阳能电池片的制备方法，包括如下步骤：采用130±20微米的硅片，前清洗-制绒-扩散-扩散后退火-等离子刻蚀-第一次超声波振荡-后清洗-等离子气相沉积-第二次超声波振荡-丝网印刷-烧结-烧结后退火-检测。本发明可以降低硅片成本。

主权项

一种超薄多晶硅太阳能电池片的制备方法，采用130±20微米的硅片，经过以下步骤制备：前清洗—制绒—扩散—扩散后退火—等离子刻蚀—第一次超声波振荡—后清洗—等离子气相沉积—第二次超声波振荡—丝网印刷—烧结—烧结后退火—检测，其中，1)在制绒工艺中的处理：将两片硅片叠在一起制绒，同时在制绒的溶液中添加质量体积比2‑8％醋酸钠；2)扩散后退火时长15‑20min，温度为320‑450摄氏度，退火时充氩气保护；3)一次超声波频率为20KHZ‑150KHZ，振荡30‑50min；4)烧结后退火时长10‑15min，温度为120‑250摄氏度，退火时负压充氩气保护；5)第二次超声波20KHZ‑100KHZ，振荡10‑20min。