[发明专利]行波管用微型溅射离子泵的抽速装置及其抽速测试方法在审
| 申请号： | 201510628446.3 | 申请日： | 2015-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN105221401A | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 梁田;董笑瑜;杨磊;孙自强;周培章;刘洋;李春月 | 申请（专利权）人： | 南京三乐电子信息产业集团有限公司 |
| 主分类号： | F04B51/00 | 分类号： | F04B51/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 杨海军 |
| 地址： | 211800 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种行波管用微型溅射离子泵的抽速装置及其抽速测定方法，本发明所述的行波管用微型溅射离子泵的抽速装置，结构设计合理，操作方便，测量结果准确。本发明提供的微型溅射离子泵的抽速测定方法，可操作性强，计算结果准确，可快速准确的测定行波管用微型溅射离子泵的抽速，本发明可在1×10-3～1×10-4Pa压力下，测试气体为氮气时，对微型溅射离子泵的抽速的测定范围为1～8L/s，可为微型溅射离子泵的性能检测提供科学依据。 | ||
| 搜索关键词： | 行波 管用 微型 溅射 离子 装置 及其 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种行波管用微型溅射离子泵的抽速装置，其特征在于，它包括：充气室(1)、与充气室(1)相连的测试室(2)，与测试室(2)相连的第一阀门(3)，与第一阀门(3)相连的机械泵(4)，与机械泵相连的第二阀门(5)，与第二阀门(5)相连的分子泵(6)；所述的充气室(1)和测试室(2)均连接有电离计(7)；所述的测试室(2)与微型溅射离子泵(8)通过排气管(9)相连；所述的充气室(1)上连接有充气管(10)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京三乐电子信息产业集团有限公司，未经南京三乐电子信息产业集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510628446.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：车辆制动设备的泵元件的排出阀组件
- 下一篇：一种水泵提升节能系统
