[发明专利]中红外扫描系统

摘要

本公开涉及一种中红外扫描系统。公开了用于生成样品的中红外区域图像的装置和方法。该装置包括生成第一光束的中红外区域激光器和被适配为搭载要被扫描的样品的平台。光学组件将该第一光束聚焦于样品上的一点。第一光探测器测量离开样品上的该点的光的第一强度。平台致动器组件使得该样品相对于该点在二个维度上移动。控制器从该第一强度形成中红外区域图像。该图像可以是基于反射光或透射光。被成像区域的最大尺寸由在相对于平台的第一方向上移动的扫描组件和在正交于该第一方向的方向上移动的平台确定。

主权项

1.一种包括MIR成像系统的装置，包括：/nMIR激光器，所述MIR激光器生成第一光束；/n平台，所述平台被适配为搭载要被扫描的样品；/n光学组件，所述光学组件将所述第一光束聚焦于所述样品上的一点；/n第一光探测器，所述第一光探测器测量离开所述样品上的所述点的光的第一强度；/n光束强度探测器，所述光束强度探测器测量所述第一光束的强度；/n平台致动器组件，所述平台致动器组件使得所述样品相对于所述点在二个维度上移动；以及/n控制器，所述控制器从所述第一强度形成MIR图像，/n其中，所述光学组件包括扫描组件，所述扫描组件包括聚焦透镜和反射镜，所述聚焦透镜将所述第一光束聚焦于所述点，所述反射镜相对于所述平台、在第一方向上移动，以使得所述聚焦透镜维持所述聚焦透镜和所述平台之间的固定距离，所述平台在正交于所述第一方向的方向上移动，/n其中，所述MIR激光器是脉冲光源，并且所述控制器被配置为只对在从所述光束强度探测器测得的光束强度大于第一阈值的时间段内从所述第一光探测器测得的强度进行求和。/n