[发明专利]一种扩散石英舟插片装置有效
申请号: | 201510632015.4 | 申请日: | 2015-09-29 |
公开(公告)号: | CN105336653B | 公开(公告)日: | 2017-09-12 |
发明(设计)人: | 包君坚;马政;蔡凯;毛振晖 | 申请(专利权)人: | 横店集团东磁股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 322118 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种扩散石英舟插片装置。它包括用于放置扩散石英舟的石英舟固定座、组合型导向座、花篮固定座、用于放置电池片的花篮、工作台和推手,所述的石英舟固定座和组合型导向座均固定安装在工作台上,所述的花篮固定座与工作台滑动连接,所述的石英舟固定座、组合型导向座和花篮固定座在一条直线上,所述的花篮置于花篮固定座上,所述的推手和花篮相配合。本发明的有益效果是将插片时间从人工的5分钟缩短为1分钟,提升生产效率,降低劳动强度,同时提升成品率,碎片率从原来的0.08%下降到0.05%,崩点从原来的10%下降到1%,结构简单,操作方便快捷,精准度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 扩散 石英 舟插片 装置 | ||
【主权项】:
一种扩散石英舟插片装置,其特征是,包括用于放置扩散石英舟(27)的石英舟固定座(21)、组合型导向座(22)、花篮固定座(23)、用于放置电池片的花篮(24)、工作台(25)和推手(26),所述的石英舟固定座(21)和组合型导向座(22)均固定安装在工作台(25)上,所述的花篮固定座(23)与工作台(25)滑动连接,所述的石英舟固定座(21)、组合型导向座(22)和花篮固定座(23)在一条直线上,所述的花篮(24)置于花篮固定座(23)上,所述的推手(26)和花篮(24)相配合,所述的石英舟固定座(21)包括直角座(1)、第一玻纤板(17)、合页(28)、水平固定块(19)、前后固定块(18)、可调左右固定板(16)和翻转手柄(20),所述的直角座(1)由成90度夹角的两片板制作而成,所述的合页(28)安装在一片板上且置于两片板的结合处,所述的直角座(1)通过合页(28)固定在工作台(25)上,所述的第一玻纤板(17)有两块,所述的第一玻纤板(17)上设有若干用于放置电池片的第一导槽,所述的两块第一玻纤板(17)相互平行,所述的第一玻纤板(17)安装在直角座(1)的一片板上且与直角座(1)的另一片板平行,所述的水平固定块(19)、前后固定块(18)、可调左右固定板(16)和翻转手柄(20)安装在直角座(1)的另一片板上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于横店集团东磁股份有限公司,未经横店集团东磁股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510632015.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种承载装置及半导体加工设备
- 下一篇:一种晶圆腐蚀装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造