[发明专利]一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构在审
| 申请号： | 201510632756.2 | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN105154845A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 陈万荣;陈修祥;周维虎;孙华平 | 申请（专利权）人： | 扬中中科维康智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212211 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构，包括大齿轮、小齿轮、轴承、阀芯杆状托盘、托盘上盖、双头螺栓、螺母、底座、旋转力输入轴、变速箱等部件。本发明结构简单、可靠，可以一次对多个伺服阀芯进行气相沉积加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 伺服 阀芯气相 沉积 加工 旋转 机构 | ||
【主权项】：
一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构，包括大齿轮、小齿轮、轴承、阀芯杆状托盘、托盘上盖、双头螺栓、螺母、底座、旋转力输入轴、变速箱等部件。可以一次对六个伺服阀芯进行气相沉积处理。
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