[发明专利]真空泵系统有效
| 申请号： | 201510632863.5 | 申请日： | 2015-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN105484969B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·施奈登巴赫;克里斯蒂安·拜尔;哈特穆特·科瑞翰;克劳斯-彼得·施利克 | 申请（专利权）人： | 莱宝有限责任公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B41/06;F04B49/00;F04C18/16;F04F5/54 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏金霞;潘冰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种真空泵系统，该真空泵系统具有用于对腔室(14)进行排空的主真空泵(10)。辅助泵(24)与主真空泵(10)的出口(16)连接。此外，控制装置(32、34)被提供用于使辅助泵(24)在存在于出口(16)处的压力的限定范围内启用。控制装置(32、34)仅包括机械部件。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 系统 | ||
【主权项】：
一种真空泵系统，包括：主真空泵(10)，所述主真空泵(10)适于与待排空的腔室(14)连接，辅助泵(24)，所述辅助泵(24)与所述主真空泵(10)的出口(16)连接，以及控制装置(32、34)，所述控制装置(32、34)用于在存在于所述主真空泵的所述出口(16)处的压力的限定范围(Δp)内启用所述辅助泵(24)，其特征在于，所述控制装置(32、34)仅包括机械部件。
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