[发明专利]可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置

摘要

本发明公开了一种可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，包括抛光工具体、磨盘、柔性铰链磨头以及可带动抛光工具体进行超声振动的超声波振动装置；该磨盘可旋转地安装在该抛光工具体上，其上设有若干孔，所述的柔性铰链磨头通过柔性铰链安装在该孔内。与传统的小磨头抛光容易引入波纹状的条纹并产生中频误差相比，本发明的超声振动磨头通过配合超声振动以及柔性铰链磨头的运动，使得整体磨盘运动杂错无章，从而可有效去除中频误差。

主权项

1.一种可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：包括抛光工具体(1)、用于磨削的磨盘(4)、柔性铰链磨头(5)以及可带动抛光工具体进行超声振动的超声波振动装置；该磨盘(4)可旋转地安装在该抛光工具体(1)上，其上设有若干孔(41)，所述的柔性铰链磨头(5)通过柔性铰链安装在该孔内；所述磨盘(4)中间设有一个所述的柔性铰链磨头(5)，在中间的柔性铰链磨头(5)外周放射性设有多个所述的柔性铰链磨头(5)，且位于磨盘(4)中间与周边的柔性铰链磨头具有不同的弹性模量。