[发明专利]一种薄层材料方块电阻测试方法有效
| 申请号： | 201510638358.1 | 申请日： | 2015-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN105182081B | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 张步法 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;姚佳雯 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄层材料方块电阻测试方法，包括：在薄层材料的表面安装二个圆形或圆环形的电极；对所述电极之间的电阻进行测量；根据理论模型，从测量的所述电极之间的电阻、各所述电极的直径和所述电极之间的距离计算所述薄层材料的方块电阻。本发明的方法对电极直径没有限制，且圆环形电极在测量中和圆形电极有相同的功能，圆环形电极还有可能改善电极边缘与薄层材料的接触。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄层 材料 方块 电阻 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄层材料方块电阻测试方法，其特征在于，包括：在薄层材料的表面安装二个圆形或圆环形的电极；对所述电极之间的电阻进行测量；应用如下公式计算所述薄层材料的方块电阻：![]()
其中，RAB是测量得到的所述电极之间的电阻，rA和rB分别是两个所述电极的半径，L是所述电极的中心之间的距离。
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