[发明专利]在TEM中对齐无特征薄膜

摘要

当制备无孔相位板（HFPP）时，优选无特征薄膜应当高精度地放置在TEM的衍射平面或者其共轭平面中。本发明公开了用于精确地将薄膜放置于所述平面中的两个相关的实施例。第一实施例使用当TEM在成像模式中时薄膜的伦奇图，并且应当调节伦奇图的放大率使得在伦奇图中央的放大率是无限的。第二实施例利用当TEM在衍射模式中时由薄膜所散射的电子。当薄膜不与衍射平面重合时，由薄膜所散射的电子似乎起源于不同于零射束的穿越的另一个位置。这作为光晕被观察到。光晕的不存在是薄膜与衍射平面重合的证据。注意到，该方法在样本保持器中没有样本的情况下得以最佳地执行。

主权项

一种在透射电子显微镜（100）中对齐薄膜的方法，所述透射电子显微镜包括：·电子源（104），用于产生电子射束，·聚光器系统（106），用于在样本平面上形成平行或几乎平行的电子射束，·物镜（112），用于将所述平行或几乎平行的射束聚焦在衍射平面上，·薄膜，定位在衍射平面或衍射平面的共轭平面中，或者靠近衍射平面或衍射平面的共轭平面，所述薄膜是无特征薄膜，·成像系统（116+118），用于将样本平面或衍射平面的扩大图像形成到图像平面上，·检测器（124），用于记录形成在图像平面上的图像,其特征在于所述方法包括以下步骤：·用与衍射平面的第一位置相关联的第一激励使聚光器系统聚焦的步骤（202），·用聚焦的电子射束照射所述薄膜的步骤（206），·反复地进行以下步骤∘记录图像的步骤（208），∘从所述记录的图像导出照射是在面照射还是离面照射的步骤（210），在面照射为当所述薄膜位于衍射平面或衍射平面的共轭平面中时发生，并且离面照射为当所述薄膜位于不与衍射平面或衍射平面的共轭平面重合的平面中时发生，∘改变至少一个透镜的激励以改变衍射平面或衍射平面的共轭平面的位置，或者沿着光轴改变所述薄膜的位置的步骤（214），·直到所述照射是在面照射为止。