[发明专利]清洁系统和方法有效
| 申请号： | 201510644623.7 | 申请日： | 2012-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN105702601B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 卢茨·莱伯斯托克 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯CCS有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/687;H01L21/677 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李江晖 |
| 地址： | 德国巴登*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 在一个实施例中，本发明公开了一种用于清洁EUV载具的EUV清洁系统和方法。EUV清洁系统包括：分离的肮脏环境和洁净环境；用于双容器载具的不同部件的单独的清洁室；用于使用相同的机械手拾取和放置不同部件的夹持臂；用于将部件保持在不同位置处的夹持臂；用于外容器的水平自旋清洁和干燥；热水和热空气(70℃)清洁处理；用于通过热空气喷嘴清洁内容器以进行干燥的垂直喷嘴和格栅式兆声波喷嘴；用于使用吹扫气体除气不同部件的单独的真空净化室，例如，在高真空(例如，＜10 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于保持工件的机械手，其中工件包括第一部件和第二部件，第一部件为双容器掩模版载具的内容器的部件，并且第二部件为双容器掩模版载具的外容器的部件，所述机械手包括：/n手柄，其中手柄包括两个臂，其中两个臂之间的距离能够被调节以支撑第一和第二部件；/n连接到两个臂以调节两个臂之间的距离的机构；/n其中每一个臂都包括用于夹持第一部件的第一部分和用于夹持第二部件的第二部分，/n其中第一部分和第二部分设置在臂上的不同位置上；/n还包括连接到每一个臂的插入件，其中第一部分包括插入件的中间部分，并且其中第二部分包括插入件的顶部部分或底部部分。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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