[发明专利]一种用于优化黑硅表面结构的处理液及处理方法在审

专利信息
申请号: 201510651827.3 申请日: 2015-10-10
公开(公告)号: CN105274626A 公开(公告)日: 2016-01-27
发明(设计)人: 刘长明;金井升;蒋方丹;金浩 申请(专利权)人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 赵青朵
地址: 314416 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种用于优化黑硅表面结构的处理液和处理方法,所述处理液包括以下组分:刻蚀剂1重量份;缓冲剂1重量份~15重量份;氧化剂1重量份~15重量份;水20重量份~400重量份;所述刻蚀剂为氢氟酸。本发明提供的处理液通过刻蚀剂、缓冲剂和氧化剂的协同作用,使处理液能够缓慢而均匀的对黑硅表面结构进行优化,去除黑硅表面损伤和悬挂键,降低黑硅表面结构的复合速率。本发明采用上述处理液将黑硅进行表面处理,得到优化后的黑硅表面结构,在保证黑硅具有较低反射率的同时,能够提高黑硅相应电池效率和相应组件功率。
搜索关键词: 一种 用于 优化 表面 结构 处理 方法
【主权项】:
一种用于优化黑硅表面结构的处理液,其特征在于,包括以下组分:刻蚀剂1重量份;缓冲剂1重量份~15重量份;氧化剂1重量份~15重量份;水20重量份~400重量份;所述刻蚀剂为氢氟酸。
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