[发明专利]一种用于优化黑硅表面结构的处理液及处理方法在审
申请号: | 201510651827.3 | 申请日: | 2015-10-10 |
公开(公告)号: | CN105274626A | 公开(公告)日: | 2016-01-27 |
发明(设计)人: | 刘长明;金井升;蒋方丹;金浩 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵青朵 |
地址: | 314416 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种用于优化黑硅表面结构的处理液和处理方法,所述处理液包括以下组分:刻蚀剂1重量份;缓冲剂1重量份~15重量份;氧化剂1重量份~15重量份;水20重量份~400重量份;所述刻蚀剂为氢氟酸。本发明提供的处理液通过刻蚀剂、缓冲剂和氧化剂的协同作用,使处理液能够缓慢而均匀的对黑硅表面结构进行优化,去除黑硅表面损伤和悬挂键,降低黑硅表面结构的复合速率。本发明采用上述处理液将黑硅进行表面处理,得到优化后的黑硅表面结构,在保证黑硅具有较低反射率的同时,能够提高黑硅相应电池效率和相应组件功率。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 优化 表面 结构 处理 方法 | ||
【主权项】:
一种用于优化黑硅表面结构的处理液,其特征在于,包括以下组分:刻蚀剂1重量份;缓冲剂1重量份~15重量份;氧化剂1重量份~15重量份;水20重量份~400重量份;所述刻蚀剂为氢氟酸。
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