[发明专利]微小尺度盲腔内壁表面净化除垢装置

摘要

本发明提供了一种微小尺度盲腔内壁表面净化除垢装置，包括：清洗液供应单元、清洗液回收单元、气体增压单元、清洗执行单元以及机械支撑结构，所述四个单元之间通过管路连接，管路上的阀门控制各个单元之间的通断，且所述四个单元均安装在所述机械支撑结构上；所述清洗液供应单元用于向清洗执行单元提供清洗液；所述清洗液回收单元用于回收清洗剩余的清洗液；所述气体增压单元用于调节输入气体的压力，实现不同力度的清洗；所述清洗执行单元用于实现多种方式的清洗；所述机械支撑结构用于整个装置的固定、定位、安装以及支撑。本发明自动化程度高、使用方便、清洗效率高，可广泛应用于微小仪器内腔的净化除垢。

主权项

1.一种微小尺度盲腔内壁表面净化除垢装置，其特征在于，包括：清洗液供应单元、清洗液回收单元、气体增压单元、清洗执行单元这四个单元以及机械支撑结构，所述四个单元之间通过管路连接，管路上的阀门控制这四个单元之间的通断，且所述四个单元均安装在所述机械支撑结构上；所述清洗液供应单元用于向清洗执行单元提供清洗液；所述清洗液回收单元用于回收清洗剩余的清洗液；所述气体增压单元用于调节输入气体的压力，实现不同力度的清洗；所述清洗执行单元用于实现多种方式的清洗，包括：洗液射流清洗、气液两相流清洗以及气体风淋清洗；其中：所述清洗液供应单元包括：气体排放阀(7)、清洗液容器Ⅰ(14)、清洗液容器Ⅱ(15)、积液器(18)、自吸抽液泵(19)、自吸泵出液阀(21)、自吸泵进液阀Ⅰ(22)、自吸泵进液阀Ⅱ(23)、自吸泵出液管路(27)、自吸泵进液管路(28)、气体排放管路(29)；所述清洗液容器Ⅰ(14)、清洗液容器Ⅱ(15)分别通过所述自吸泵进液阀Ⅰ(22)、自吸泵进液阀Ⅱ(23)与自吸泵进液管路(28)的输入端相连，所述自吸泵进液管路(28)的输出端与自吸抽液泵(19)相连，所述自吸抽液泵(19)通过自吸泵出液管路(27)向积液器(18)输送清洗液，所述自吸泵出液管路(27)上安装有自吸泵出液阀(21)，设置在积液器(18)上端的气体排放管路(29)上安装有气体排放阀(7)；且所述清洗液供应单元的各个组件之间通过球头螺帽的形式进行连接和密封。