[发明专利]基板传送方法在审
| 申请号： | 201510657612.2 | 申请日： | 2015-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN105236141A | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 黄佳音 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基板传送方法，通过在链接信号中增加基板(30)的位置信息，每片基板(30)的位置信息用一个比特位表示，1代表有片，0代表无片，使得将基板(30)传送至下游机台(2)时，下游机台(2)接收所述基板(30)的位置信息以获得收片载台(20)上具体哪些位置上有基板(30)，并依此向基板(30)分配资料，保证下游机台(2)分配的资料与基板(30)相匹配，避免因信息错配造成的异常问题，有利于下游机台(2)的正常生产运行，减少工厂的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 方法 | ||
【主权项】：
一种基板传送方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供一上游机台(1)与下游机台(2)，所述上游机台(1)包括一机械手臂(10)与出片传感器(15)；所述下游机台(2)包括一收片载台(20)与收片传感器(25)；所述机械手臂(10)包括两个平行设置的叉片分支(11)，所述叉片分支(11)用于在传片过程中装载和支撑基板(30)；步骤2、在所述机械手臂(10)上承载数片基板(30)后，所述机械手臂(10)移动至出片传感器(15)并触发出片传感器(25)，上游机台(1)向下游机台(2)发送链接信号，所述链接信号包括机械手臂(10)上承载的数片基板(30)的位置信息与资料信息；步骤3、所述上游机台(1)与下游机台(2)进行信号交握，所述下游机台(2)接收所述链接信号，之后所述上游机台(1)通过机械手臂(10)将基板(30)传递至下游机台(2)的收片载台(20)上；步骤4、所述下游机台(2)接收基板(30)后触发收片传感器(25)，下游机台(2)根据接收到的基板(30)的位置信息将基板(30)的资料信息分配给每一片基板(30)；步骤5、下游机台(2)对基板(30)进行制程操作。
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