[发明专利]柔性显示基板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201510658941.9 申请日: 2015-10-12
公开(公告)号: CN105355591B 公开(公告)日: 2019-04-30
发明(设计)人: 刘哲 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: H01L21/77 分类号: H01L21/77
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人: 林才桂
地址: 430070 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种柔性显示基板的制造方法。本发明的柔性显示基板的制造方法,通过在承载基板上排布一层单层的聚苯乙烯微球,形成聚苯乙烯微球阵列膜,减少柔性基底与承载基板的直接接触;同时利用聚苯乙烯微球容易被激光烧蚀、在一定温度下能够被煅烧去除的优点,减少了激光剥离制程中高能量激光脉冲的使用频率,使得柔性基底更容易地从承载基板上剥离,在提高了显示器件可靠性的同时,有效降低了生产成本。
搜索关键词: 柔性 显示 制造 方法
【主权项】:
1.一种柔性显示基板的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、提供承载基板(10),在所述承载基板(10)上排布一单层的聚苯乙烯微球,得到聚苯乙烯微球阵列膜(20);步骤2、在所述承载基板(10)、及聚苯乙烯微球阵列膜(20)上形成柔性基底(30);步骤3、在所述柔性基底(30)上形成显示器件(40);步骤4、从下方对所述承载基板(10)进行激光照射,将所述柔性基底(30)从所述承载基板(10)上剥离下来;步骤4中,在进行激光照射前,在一定温度下,对所述承载基板(10)煅烧,以去除聚苯乙烯微球阵列膜(20)。
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