[发明专利]微机械的气体传感器装置和相应的制造方法在审
| 申请号： | 201510659254.9 | 申请日： | 2015-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN105334291A | 公开（公告）日： | 2016-02-17 |
| 发明（设计）人： | F·埃南德斯纪廉 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周志明;宣力伟 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提出一种微机械的气体传感器装置和一种相应的制造方法。该微机械的气体传感器装置包括：衬底；设置在衬底上的多孔区域，该多孔区域带有背离衬底的顶面、面向衬底的底面、侧面，该侧面可被要感测的气体流过；至少局部地遮盖顶面的覆盖区域，其中，该覆盖区域具有一个或多个气体输入通道，经由所述气体输入通道可把气体引入到多孔区域内；用于产生电磁信号的信号产生机构，所述电磁信号可以在多孔区域内部的气体中传播；用于在气体中传播之后接收电磁信号的信号接收机构；和分析机构，用来基于电磁信号在气体中传播时的变化来获取气体的至少一个化学的或物理的参数。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 气体 传感器 装置 相应 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机械的气体传感器装置，具有：衬底(1；5)；设置在衬底(1；5)上的多孔区域(10；10a)，该多孔区域带有背离衬底(1；5)的顶面(O)、面向衬底(1；5)的底面(U)、侧面(SF)，该侧面可被要感测的气体流过；至少局部地遮盖顶面(O)的覆盖区域(50；50a)，其中，该覆盖区域(50；50a)具有一个或多个气体输入通道(T1、T2)，经由所述气体输入通道可把气体引入到多孔区域(10；10a)内；用于产生电磁信号(W2；W0；W2′；W0′)的信号产生机构(S)，所述电磁信号可以在多孔区域(10；10a)内部的气体中传播；用于在气体中传播之后接收电磁信号(W2；W0；W2′；W0′)的信号接收机构(E)；和分析机构(100)，用来基于电磁信号(W2；W0；W2′；W0′)在气体中传播时的变化来获取气体的至少一个化学的或物理的参数。
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