[发明专利]一种直接沉积于读出电路上的光电探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201510660346.9 申请日: 2015-10-13
公开(公告)号: CN105206701B 公开(公告)日: 2017-01-25
发明(设计)人: 肖恩·海因兹;王伟斌 申请(专利权)人: 山西国惠光电科技有限公司
主分类号: H01L31/09 分类号: H01L31/09;H01L31/0352;H01L31/18
代理公司: 太原科卫专利事务所(普通合伙)14100 代理人: 朱源,王勇
地址: 030006 *** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明涉及光电探测器,具体是一种直接沉积于读出电路上的光电探测器及其制备方法。本发明解决了现有光电信号转换器件分辨率受限、制作成本高的问题。一种直接沉积于读出电路上的光电探测器,包括两组电极接触导体;第一组电极接触导体一一对应沉积于读出电路的各个像素单元的上表面;第二组电极接触导体一一对应沉积于读出电路的各个平面金属界面环的上表面;第一组电极接触导体的上表面沉积有底部载流子传输增强膜层;底部载流子传输增强膜层的上表面沉积有活性胶体量子点膜层;活性胶体量子点膜层的上表面沉积有顶部载流子传输增强膜层。本发明适用于光电探测领域。
搜索关键词: 一种 直接 沉积 读出 路上 光电 探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
一种直接沉积于读出电路上的光电探测器,其特征在于:包括两组电极接触导体;第一组电极接触导体一一对应沉积于读出电路的各个像素单元的上表面;第二组电极接触导体一一对应沉积于读出电路的各个平面金属界面环的上表面;第一组电极接触导体的上表面沉积有底部载流子传输增强膜层;底部载流子传输增强膜层的上表面沉积有活性胶体量子点膜层;活性胶体量子点膜层的上表面沉积有顶部载流子传输增强膜层;顶部载流子传输增强膜层的上表面和第二组电极接触导体的上表面共同覆盖有公共上电极层。
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