[发明专利]固体摄影元件、装置、设备及偏振元件的制造方法

摘要

本发明涉及固体摄影元件、固体摄影装置、固体摄影设备、及偏振元件的制造方法，本发明基于线栅型偏振器技术，能够提供结构简单的偏振元件的固体摄影元件。固体摄影装置具有多个固体摄影元件(41)，该固体摄影元件(41)具备光电转换元件(61)、及设置于光电转换元件(61)的光入射侧的偏振元件(70)，具备偏振方位不同的两种以上的偏振元件(70)，各偏振元件具有从光电转换元件侧起，由条纹状的反射层(71)、形成于反射层(71)上的绝缘层(72)、及以分开的状态形成于绝缘层(72)上的多个断片(73’)构成的光吸收层(73)的层叠结构。

主权项

1.一种固体摄影装置，具有多个固体摄影元件，该固体摄影元件具备：(A)光电转换元件、及(B)设置于光电转换元件的光入射侧的偏振元件，其中，所述固体摄影装置具备偏振方位不同的两种以上的偏振元件，各偏振元件具有层叠结构，其中从光电转换元件侧起，层叠条纹状的反射层、形成于反射层上的绝缘层、及以分开的状态形成于绝缘层上的多个断片构成的光吸收层，其中，条纹状的反射层的延伸的方向上的反射层的长度比沿条纹状的反射层的延伸的方向的固体摄影元件的长度短，条纹状的反射层的延伸的方向与用于消光的偏振方位一致，条纹状的反射层的重复方向与用于透光的偏振方位一致，断片的长边与条纹状的反射层的延伸方向平行，断片的短边与条纹状的反射层的重复方向平行，并且在将条纹状的反射层的延伸的方向上的光吸收层的断片的形成间距设定为Pab－1、将条纹状的反射层的重复方向上的光吸收层的断片的形成间距设定为Pab－2、将入射到偏振元件的光的最短波长设定为λmin、将入射偏振元件的光通过的介质的折射率设定为n0、将向偏振元件的光的入射角的最大值设定为θin－max时，满足(Pab－12+Pab－22)1/2≦[(λmin/n0)×cos(θin－max)]。