[发明专利]一种低能耗单晶炉在审
| 申请号： | 201510666388.3 | 申请日： | 2015-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN105177701A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 潘清跃;王平 | 申请（专利权）人： | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213200 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶炉技术领域，特别是一种低能耗单晶炉，包括炉体和加热器，所述炉体内下端设置有石墨坩埚，所述石墨坩埚底部固定有托杆机构；所述石墨坩埚上部设置有热屏，所述热屏包括内、外石墨导流筒，所述内、外石墨导流筒之间设置为均匀厚度的绝热层，所述内、外石墨导流筒和绝热层形成三明治结构；所述石墨坩埚外侧设置有加热器。采用上述结构后，本发明特有的导流机构能够有效地阻止热量通过热屏向上炉腔和晶体的转递，显著地降低拉晶能耗；同时该结构还能在一定程度上增加固液界面的温度梯度，从而提高拉晶速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能耗 单晶炉 | ||
【主权项】：
一种低能耗单晶炉，包括炉体和加热器，其特征在于：所述炉体内下端设置有石墨坩埚，所述石墨坩埚底部固定有托杆机构；所述石墨坩埚上部设置有热屏，所述热屏包括内、外石墨导流筒，所述内、外石墨导流筒之间设置为均匀厚度的绝热层，所述内、外石墨导流筒和绝热层形成三明治结构；所述石墨坩埚外侧设置有加热器。
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