[发明专利]位移测定方法和位移测定装置有效
| 申请号： | 201510667575.3 | 申请日： | 2015-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN105526868B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 大友文夫;熊谷薰;籾内正幸;大佛一毅 | 申请（专利权）人： | 株式会社拓普康 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;姜甜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及位移测定方法和位移测定装置。具备：图案投影部；图案拍摄部，可相对于该图案投影部相对位移地设置；以及控制部，所述图案投影部能将位移检测图案投影到所述图案拍摄部，该图案拍摄部能对所投影的位移检测图案进行拍摄，所述控制部被构成为将所述图案拍摄部所拍摄的位移检测图案的图像巡回到所述图案投影部，将该图案投影部投影的位移检测图案更新为巡回后的位移检测图案，进而将更新后的位移检测图案投影到所述图案拍摄部，所述图案投影部和所述图案拍摄部间的相对位移通过将巡回而得到的图像中的所述位移检测图案的位移量除以巡回的数目来求取。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 测定 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种位移测定方法，是在能进行相对位移的部位的一个部位设置图案投影部并在另一个部位设置图案拍摄部的位移测定装置进行的位移测定方法，其中，具有：从所述图案投影部将位移检测图案投影到所述图案拍摄部的工序；将由该图案拍摄部取得的位移检测图案巡回到所述图案投影部的工序；利用巡回后的位移检测图案来更新该图案投影部的位移检测图案的工序；对更新后的位移检测图案进行投影的工序；以及求取巡回后由所述图案拍摄部取得的图像中的位移检测图案的位移量并将该位移量除以巡回数来得到两部位间的位移的工序。
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