[发明专利]提拉法制备单晶硅棒过程中引细颈的方法在审
| 申请号： | 201510668808.1 | 申请日： | 2015-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN105177703A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 王会敏;何京辉;曹祥瑞;颜超;程志;周子江;刘钦;陈二星 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 054001 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及单晶硅制造技术领域，具体公开了一种提拉法制备单晶硅棒过程中引细颈的方法，引细颈初期籽晶拉速控制在0.5～3.0mm/min，细颈直径控制在6～8mm，并逐步将细颈直径缩细，引细颈长度为25±2mm；再控制籽晶拉速在2.0～6.0mm/min，细颈直径缩细至直径3～5mm，之后控制拉速，使细颈匀速生长，引细颈中期长度为52±2mm；引细颈后期籽晶拉速控制在0.9～1.1mm/min，维持2～3分钟，再进行放肩工艺。本发明能够大幅节省引细颈时间，减少引细颈的长度，使用本发明技术可有效排除籽晶位错,提高引细颈的成功率，提高产品的成品率，同时能够降低能耗，降低生产成本，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 法制 单晶硅 过程 中引细颈 方法 | ||
【主权项】：
提拉法制备单晶硅棒过程中引细颈的方法，其特征在于，包括以下步骤：一、将籽晶插入熔融硅中，提拉籽晶引细颈，引细颈初期籽晶拉速控制在0.5～3.0mm/min，细颈直径控制在6～8mm，并逐步将细颈直径缩细，引细颈长度为25±2mm；二、引细颈中期籽晶拉速控制在2.0～6.0mm/min，细颈直径缩细至直径3～5mm，之后控制拉速，使细颈匀速生长，引细颈长度为52±2mm；三、引细颈后期籽晶拉速控制在0.9～1.1mm/min，维持2～3分钟，再进行放肩工艺。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于邢台晶龙电子材料有限公司，未经邢台晶龙电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510668808.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：金刚石膜的制造方法
- 下一篇：一种酸洗槽酸雾回收系统
