[发明专利]爆炸喷涂制备IC装备铝合金零部件用高纯氧化钇涂层方法

摘要

本发明涉及IC装备关键零部件领域，特别是一种爆炸喷涂制备IC装备铝合金零部件用高纯氧化钇涂层的方法。该方法步骤如下：(1)零件无涂层区域的防护；(2)零件喷涂区域的表面预处理；(3)采用高纯氧化钇粉末，纯度≥99.9％、平均粒度为2～50μm；(4)采用爆炸喷涂系统进行快速喷涂。相比于传统的热喷涂，爆炸喷涂的速度快、效率高，在一定程度上能够有效地减少和降低对基体的热输入，适宜于在铝及铝合金等IC装备用关键零部件表面喷涂涂层。本发明采用的爆炸喷涂方法，制备质量稳定、厚度均匀的氧化钇涂层，而且涂层致密，极大地提高IC装备零部件抗高能等离子和强腐蚀性气体的腐蚀性，同时提高零件的使用寿命和制备效率。

主权项

1.一种爆炸喷涂制备IC装备铝合金零部件用高纯氧化钇涂层方法，其特征在于，包括以下步骤：1)喷涂前对喷涂基体进行彻底清洗，并对基体待喷涂以外的区域进行有效地保护；2)在爆炸喷涂装置的送粉器中加入待喷涂的高纯氧化钇粉体；3)采用爆炸喷涂装置，在基体待喷涂部位进行喷涂，获得高纯氧化钇涂层；爆炸喷涂工艺参数如下：喷涂气体使用氧气O₂和乙炔C₂H₂，喷涂距离70～160mm，氧气和乙炔的流量比2:1～3:1，氧气和乙炔的充枪比30％～60％，送粉速率0.1～0.5g/s，点火频率1～10cycles/s；高纯氧化钇粉末的化学成分按重量百分比为：Y₂O₃≧99.9％，粒度范围为2～50μm，高纯氧化钇粉末的粒度要求为：粒度<35μm，其质量百分含量大于95％，粒度35μm～45μm的粉末其质量百分含量小于3％，余量为粒度>45μm。