[发明专利]一种溅镀设备的靶材更换装置及溅镀设备在审
| 申请号： | 201510672927.4 | 申请日： | 2015-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN105154837A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 杜建华;王灿;何晓龙;孙雪菲 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示设备制造领域，公开一种溅镀设备的靶材更换装置及溅镀设备，靶材更换装置包括，支架；安装于支架上的安装轴；套设于安装轴外侧、且可绕安装轴的轴心线旋转的靶材安装体，靶材安装体具有至少两个用于安装靶材的靶材安装面，当靶材安装体绕安装轴的轴心线旋转时，每一个靶材安装面可在工作状态朝向和闲置朝向之间切换；用于驱动靶材安装体绕安装轴的轴线旋转的第一驱动机构，在需更换靶材时，可通过第一驱动机构驱动靶材安装体旋转，进而将安装于靶材安装体的靶材安装面上的所需靶材由闲置朝向切换至工作状态朝向，进而使所需靶材参与工作，切换靶材的过程不需打开腔室，节省了打开腔室和抽取真空的时间，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 更换 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀设备的靶材更换装置，其特征在于，包括，支架；安装于所述支架上的安装轴；套设于所述安装轴外侧、且可绕所述安装轴的轴心线旋转的靶材安装体，所述靶材安装体具有至少两个用于安装靶材的靶材安装面，当所述靶材安装体绕安装轴的轴心线旋转时，每一个所述靶材安装面可在工作状态朝向和闲置朝向之间切换；用于驱动所述靶材安装体绕所述安装轴的轴线旋转的第一驱动机构。
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