[发明专利]一种ITO和波片组合器件在审
| 申请号： | 201510678691.5 | 申请日： | 2015-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN105223637A | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 朱一村;吴季;陈伟;王昌运 | 申请（专利权）人： | 福建福晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B1/11 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350003 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ITO和波片组合器件，包括ITO、两片玻璃衬底和一片真零级波片，其中一片玻璃衬底的一面镀有ITO层；另一片玻璃衬底和真零级波片连接，真零级波片的非连接面镀有一层增透膜；然后两片玻璃衬底连接成一个组合器件，器件的整体透射波前畸变RMS<0.2λ@632.8nm。此加工工艺稳定，面型指标优异，加工效率高，适合大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 组合 器件 | ||
【主权项】：
一种ITO和波片组合器件，包括ITO、两片玻璃衬底和一片真零级波片，其中一片玻璃衬底的一面镀有ITO层；另一片玻璃衬底和真零级波片连接，真零级波片的非连接面镀有一层增透膜；然后两片玻璃衬底连接成一个组合器件，器件的整体透射波前畸变RMS<0.2λ@632.8nm。
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