[发明专利]一种光学传感器

摘要

本发明提供了一种光学传感器，包括一基板、位于基板上的一控制元件与一感光元件。该光学传感器还包括：一第一绝缘层，设置于控制元件的上方；一平坦层，设置于第一绝缘层的上方；一第一金属阻挡层，设置于平坦层的上方，其作为氢阻挡层以阻隔氢离子扩散进入控制元件；一第二绝缘层，设置于第一金属阻挡层的上方；一第二金属阻挡层，设置于第二绝缘层的上方；以及一PIN层，位于第二金属阻挡层的上方。相比于现有技术，本发明的光学传感器在第二金属阻挡层金属裸露位置增加上述第一金属阻挡层，从而利用第一金属阻挡层作为氢阻挡层来阻止氢离子扩散进入控制元件内，进而避免薄膜沉积时所使用的氢离子扩散并对薄膜晶体管的阈值电压造成不利影响。

主权项

一种光学传感器，包括一基板、位于所述基板上的一控制元件与一感光元件，其特征在于，所述光学传感器还包括：一第一绝缘层，设置于所述控制元件的上方；一平坦层，设置于所述第一绝缘层的上方；一第一金属阻挡层，设置于所述平坦层的上方，所述第一金属阻挡层作为一氢阻挡层以阻隔氢离子扩散进入所述控制元件；一第二绝缘层，设置于所述第一金属阻挡层的上方；一第二金属阻挡层，设置于所述第二绝缘层的上方；以及一PIN层，位于所述第二金属阻挡层的上方。