[发明专利]一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置有效
| 申请号： | 201510679643.8 | 申请日： | 2015-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN105177697B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 孙昊;刘铮;涂颂昊;郝大维;王遵义;刘琨;由佰玲;张雪囡;王彦君 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 陈雅洁 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置，包括炉内底盘，夹持柱和拨柱轴尖；所述炉内底盘为一圆盘，所述圆盘上沿圆周边缘均匀开有若干组夹持柱固定孔，所述圆盘中部开有拨柱轴尖孔；所述拨柱轴尖包括轴尖、拨柱和连接轴，所述轴尖的侧壁顶端固定有拨柱，所述轴尖的下端面固定有连接轴；所述夹持柱包括支撑柱、夹持拨片和夹持片，所述支撑柱安装到所述夹持柱固定孔处，所述夹持拨片位于所述拨柱正下方。本发明所述的用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置结构简单，操作方便，通过夹持片的设置改善了夹持面积，从而改善了夹持的稳定性，减少了因夹持不稳对单晶生长造成的影响，提高了工时利用率，且制造成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 区熔硅单晶炉单晶 夹持 系统 装置 | ||
【主权项】：
一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置，其特征在于：包括炉内底盘(1)，夹持柱(2)和拨柱轴尖(3)；所述炉内底盘(1)为一圆盘，所述圆盘上沿圆周边缘均匀开有若干组夹持柱固定孔(11)，所述圆盘中部开有拨柱轴尖孔(12)；所述拨柱轴尖(3)包括轴尖(31)、拨柱(32)和连接轴(33)，所述轴尖(31)为一中空圆柱体，所述中空圆柱体的纵截面为U形，所述轴尖(31)侧壁顶端固定有向外侧延伸的拨柱(32)，所述轴尖(31)的下端面固定有连接轴(33)，所述连接轴(33)上设有驱动所述连接轴(33)上下移动的电机，所述轴尖(31)设置于所述拨柱轴尖孔(12)内，且可在连接轴(33)的带动下沿所述拨柱轴尖孔(12)上下穿行，所述拨柱(32)处的外缘直径大于所述拨柱轴尖孔(12)的直径，可对拨柱轴尖(3)起限位作用；所述夹持柱(2)包括支撑柱(21)、夹持拨片(22)和夹持片(23)，所述支撑柱(21)的数量与所述夹持柱固定孔(11)的组数相同，且所述支撑柱(21)对应安装到所述夹持柱固定孔(11)处，所述夹持拨片(22)一端位于所述拨柱(32)正下方，所述夹持拨片(22)另一端与所述夹持片(23)的一端相连，所述夹持拨片(22)与所述夹持片(23)的连接端可转动的连接于所述支撑柱(21)的上部，所述夹持片(23)另一端位于区熔硅单晶(4)外侧，所述区熔硅单晶(4)从所述轴尖(31)内部长出。
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