[发明专利]压电驱动式引线键合装置

摘要

本发明公开了一种压电驱动式引线键合装置，包括基座和设置在其上方的摆动平台；在所述摆动平台和所述基座之间设有左右两根立柱和桥型放大机构，在所述桥型放大机构内设有压电陶瓷驱动器，所述压电陶瓷驱动器设有预紧螺栓，所述预紧螺栓连接在所述桥型放大机构；在所述摆动平台的上表面前部居中安装有固定座，所述固定座与换能器固接，所述换能器包括与所述摆动平台的摆动轴垂直设置的变幅杆，在所述变幅杆的输入端设有超声压电振子，在所述变幅杆的输出端连接有与其垂直的劈刀。本发明采用压电陶瓷驱动器进行驱动，结构紧凑性、质量较轻、运动惯量较小，能够提高封装过程中键合头工作的稳定性。

主权项

一种压电驱动式引线键合装置，其特征在于，包括基座和设置在其上方的摆动平台；在所述摆动平台和所述基座之间设有左右两根立柱和桥型放大机构，所述桥型放大机构居中布置在两根所述立柱之间；所述立柱的下端固定在所述基座的上表面前部，所述立柱的上端通过柔性铰链Ⅳ与所述摆动平台的下表面前部连接；所述桥型放大机构包括平行设置的前后两根可动连杆，所述可动连杆与所述基座垂直；两根所述可动连杆的上端通过输出连桥连接，两根所述可动连杆的下端通过固定连桥连接；所述输出连桥包括设置在其中部的输出连杆，所述输出连杆的两端各通过一平行双杆机构Ⅰ与前后两根所述可动连杆的上端连接，所述平行双杆机构Ⅰ是采用柔性铰链Ⅰ连接形成的，两个所述平行双杆机构Ⅰ呈“八”字形前后对称布置；所述输出连杆的外侧通过柔性铰链Ⅲ与所述摆动平台的下表面后部连接；所述固定连桥包括设置在其中部的固定连杆，所述固定连杆的两端各通过一平行双杆机构Ⅱ与前后两根所述可动连杆的下端连接，所述平行双杆机构Ⅱ是采用柔性铰链Ⅱ连接形成的，两个所述平行双杆机构Ⅱ与两个所述平行双杆机构Ⅰ上下对称布置，所述固定连杆与所述基座固接；在前后两根所述可动连杆之间设有压电陶瓷驱动器，所述压电陶瓷驱动器设有预紧螺栓，所述预紧螺栓连接在任意一个所述可动连杆上；在所述摆动平台的上表面前部居中安装有固定座，所述固定座与换能器固接，所述换能器包括与所述摆动平台的摆动轴垂直设置的变幅杆，在所述变幅杆的输入端设有超声压电振子，在所述变幅杆的输出端连接有与其垂直的劈刀。