[发明专利]用于化学机械研磨机台的固定环

摘要

本发明公开了一种用于化学机械研磨机台的固定环，包括环体和安装在所述环体上的信号探测单元，所述信号探测单元连接到机台控制端。当环体磨损到固定环寿命终止位置或环体发生破裂时，环体上安装的信号探测单元探测到信号变化，并发送信号给机台控制端，机台控制端报警提醒工程师更换固定环。所述信号探测单元包括电信号、气压、湿度、氧气和浮力探测器中的一种或其组合。本发明通过安装在环体上的信号探测单元监测固定环的使用寿命状况，使工程师及时对已经磨损到固定环寿命终止位置或发生破裂的固定环进行更换，防止因固定环的厚度异常或环体发生破裂造成的潜在风险和经济损失。

主权项

一种用于化学机械研磨机台的固定环，所述化学机械研磨机台具有一机台控制端，所述固定环包括一环体以及设置于所述环体的研磨面的沟槽，其特征在于：还包括安装在所述环体上的信号探测单元，所述信号探测单元连接到所述机台控制端，所述环体磨损到固定环寿命终止位置或破裂时所述信号探测单元发出信号至所述机台控制端。