[发明专利]化学湿制程方法有效
| 申请号： | 201510686782.3 | 申请日： | 2015-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN105552162A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 王春雅;陈立凯;蓝受龙;陈家达 | 申请（专利权）人： | 亚智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/032 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 张秋越 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学湿制程方法，包括：提供一化学药液；提供一基板，基板具有一反应面以及相对于反应面的一受热面，将反应面接触化学药液；以及加热受热面，借由热传导使反应面温度升高并与化学药液进行化学湿制程反应。借此，以能大幅降低化学药液在被加热后的酸碱值变化，使化学药液能被回收再利用，从而达到减少环境污染并降低成本的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 湿制程 方法 | ||
【主权项】：
一种化学湿制程方法，其特征在于，包括：提供一化学药液；提供一基板，该基板具有一反应面以及相对于该反应面的一受热面，其中将该反应面接触该化学药液；以及加热该受热面，借由热传导使该反应面温度升高并与该化学药液进行化学湿制程反应。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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