[发明专利]适于容纳流体供应容器及与之耦接的流路的罩壳有效
| 申请号： | 201510688814.3 | 申请日： | 2011-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN105387340B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | W·卡尔·奥兰德;保罗·J·马尔甘斯基 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | F17C11/00 | 分类号： | F17C11/00;F17C13/08 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 齐杨 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种适于容纳流体供应容器以及与所述流体供应容器耦接的流路的罩壳，通风气体流过该罩壳以流体在从容器泄漏的情况下提供安全操作。调节通风气流以适应与这种包含流体供应容器的罩壳的布置和操作相关的各种危险水平，所述流体供应容器例如为半导体制造设备中的气体箱或气瓶柜，从而减小这种布置和操作另外所需要的通风气体需求。 | ||
| 搜索关键词： | 适于 容纳 流体 供应 容器 与之 罩壳 | ||
【主权项】：
1.一种适于容纳流体供应容器以及与所述流体供应容器耦接的流路的罩壳，并且所述罩壳适于使通风气体流过所述罩壳，所述罩壳包括通风系统，所述通风系统包括：流量调节器，所述流量调节器被布置为用于动态地调节通过所述罩壳的通风气流；动态的监控组件，所述监控组件适于(i)监控所述流体供应容器、所述罩壳，或在所述流体供应容器中或从所述流体供应容器分配的流体的特征，该特征影响与自所述罩壳中的所述流体供应容器或关联的流路的流体泄漏相关的危险或风险的水平，以及(ii)输出与所监控特征相关联的监控信号；以及控制器，所述控制器被布置为从所述监控组件接收所述监控信号，并相对于与自所述罩壳中的所述流体供应容器的流体泄漏相关的危险或风险的水平，基于来自于供应容器中的流体的分配过程中流体供应容器中流体的存量来响应性地调节所述流量调节器。
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