[发明专利]一种3D MEMS光开关阵列在审
| 申请号： | 201510694397.3 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN105372761A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 周日凯;胡强高;孙莉萍;马洪勇;郑洁;唐勇;倪鹏远 | 申请（专利权）人： | 武汉光迅科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 赵丽影 |
| 地址： | 430205 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种3D MEMS光开关阵列，包括输入端准直器阵列1、输入端MEMS反射镜阵列芯片3、输出端MEMS反射镜阵列芯片6及输出端准直器阵列8；所述输入端MEMS反射镜阵列芯片3包括棱镜一2和棱镜二4，所述输出端MEMS反射镜阵列芯片6包括棱镜三5和棱镜四7。通过对准准直器和棱镜的共同作用，使用光功率监控装置在线监控对准准直器的插入损耗，可以实现工作准直器与MEMS反射镜的对准，使得工作准直器出射的光完全入射到MEMS反射镜上。本发明不需要机械定位件，机械件加工难度大幅降低，同时也降低了对各部件装配的要求，因此对准精度高，工作准直器出射光斑能完整的入射到MEMS反射镜上，避免了光被损失掉，减小了插入损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 开关 阵列 | ||
【主权项】：
一种3D MEMS光开关阵列，其特征在于，包括：输入端准直器阵列(1)、输入端MEMS反射镜阵列芯片(3)、输出端MEMS反射镜阵列芯片(6)及输出端准直器阵列(8)；所述输入端准直器阵列(1)包括工作准直器C1,1到Cj,i，以及在X方向和Y方向还包括对准用准直器1‑1，1‑2，1‑3，1‑4；所述输出端准直器阵列(8)包括工作准直器C1,1到Cn,m，以及在X方向和Y方向还包括对准用准直器8‑1，8‑2，8‑3，8‑4；所述输入端MEMS反射镜阵列芯片(3)，包括MEMS反射镜M1,1到Mj,i，以及棱镜一(2)和棱镜二(4)，两个棱镜分别用来X方向对准和Y方向对准；所述输出端MEMS反射镜阵列芯片(6)，包括MEMS反射镜M1,1到Mn,m，以及棱镜三(5)和棱镜四(7)，两个棱镜分别用来X方向对准和Y方向对准。
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