[发明专利]X射线产生源和荧光X射线分析装置

摘要

本发明提供X射线产生源和具有其的荧光X射线分析装置。该X射线产生源能够通过简易结构抑制X射线产生位置与用于限定X射线照射区域的机构的位置偏移，其具备对试样(S)照射一次X射线(X1)的X射线管球(2)、收纳X射线管球的壳体(3)、限制一次X射线对于试样的照射面积的X射线照射区域限定机构(4)、以及在壳体上保持X射线照射区域限定机构的机构保持部(5)，X射线管球具备筐体(6)、产生电子线的电子线源(7)、及基端固定在筐体上且在突出的前端部被照射电子线的靶部(8)，机构保持部具有在靶部的基端的正下方固定在壳体上的基端固定部(5a)、及从基端固定部沿着靶部的突出方向延伸并支承X射线照射区域限定机构的延伸支承部(5b)。

主权项

1.一种X射线产生源，其特征在于，该X射线产生源具备：X射线管球，其对试样照射一次X射线；壳体，其收纳所述X射线管球；X射线照射区域限定机构，其限制从所述X射线管球照射的所述一次X射线对于所述试样的照射面积；以及机构保持部，其在所述壳体上保持所述X射线照射区域限定机构，所述X射线管球具备：筐体，其内部保持真空；电子线源，其作为阴极设置在所述筐体的内部，产生电子线；以及靶部，其作为与所述电子线源对置的阳极设置在所述筐体的内部，基端固定在所述筐体上，并且，在突出的前端部被照射所述电子线，所述机构保持部具有：基端固定部，其在所述靶部的基端的正下方固定至所述壳体；以及延伸支承部，其从所述基端固定部沿着所述靶部的突出方向延伸，支承所述X射线照射区域限定机构，所述延伸支承部的延伸方向上的热膨胀率与所述靶部的突出方向上的热膨胀率相同，从所述延伸支承部的固定在所述壳体上的部分到所述X射线照射区域限定机构的中心轴的距离与从所述靶部的基端到所述前端部的X射线产生位置的距离相同。