[发明专利]一种神经刺激器及其制作方法

摘要

本发明属于生物医学工程技术领域，具体涉及一种神经刺激器，包括基底，开设若干通孔；微电极，若干个，所述微电极通过填充通孔设置在基底上，漏出在基底一侧的为微电极的刺激部，另一侧为微电极的连接部；刺激芯片，所述微电极的连接部直接倒装焊接在刺激芯片上；外壳，密封连接在基底上。制作方法采用激光打孔、电镀通孔等加工技术，激光焊的封装方式。本发明采用倒装焊工艺连接微电极与刺激芯片，极大减少了刺激器植入过程中造成的组织损伤，本发明制作方法过程简单，周期短。在高密度、有序排列的可植入三维微电极阵列方面，实现高密度的选择性刺激与记录，具有良好的应用前景。

主权项

1.一种神经刺激器，其特征在于，包括基底(1)，开设若干通孔；微电极(2)，若干个，用于刺激神经元；所述微电极(2)通过填充通孔设置在基底上，漏出在基底一侧的为微电极(2)的刺激部(7)，另一侧为微电极(2)的连接部(6)；刺激芯片(3)，用于控制所述微电极(2)向神经元发出刺激信号并接收反馈信号；所述刺 激芯片(3)上设有若干个接点，所述微电极(2)的连接部(6)直接倒装焊接在刺激芯片(3)的接点上；外壳(4)，密封连接在基底(1)上，与基底(1)形成空腔，用于封装微电极(2)的连接部(6)和刺激芯片(3)；所述微电极(2)通过在基底(1)上电镀通孔加工而成，所述基底(1)通过刻蚀一定厚度，露出微电极(2)的刺 激部(7)和连接部(6)。