[发明专利]一种高效多晶硅铸锭工艺在审
申请号: | 201510704455.6 | 申请日: | 2015-10-27 |
公开(公告)号: | CN105220227A | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
发明(设计)人: | 李扬;王辉;王丙宽 | 申请(专利权)人: | 天津英利新能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明提供了一种高效多晶硅铸锭工艺,通过在长晶阶段采用升降温的循环步骤,可以缓解温度变化过快对长晶造成的影响,防止晶粒的形变量过大,使硅锭整体的生长更加平稳,从而达到提高晶粒均匀性,提高硅块少子寿命,提升多晶光伏电池转换效率的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 多晶 铸锭 工艺 | ||
【主权项】:
一种高效多晶硅铸锭工艺,包括装料抽真空并预热、熔化保温阶段、长晶阶段、退火阶段、降温阶段和开方阶段,其特征在于,所述熔化保温阶段和所述长晶阶段按照以下步骤进行:S1、所述熔化保温阶段末期温度T10为1545℃~1560℃,所述温度T10在2.5h内平缓降至T20,T20为1400℃‑1420℃,随后进入所述长晶阶段;S2:所述长晶阶段包括若干个升降温循环步骤,最终到达温度T30,所述T30为1410℃‑1417℃;S3、所述温度T30在16h之内平缓降至T40,所述T40为1388℃‑1395℃;之后进入所述退火阶段。
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