[发明专利]一种多层复合类富勒烯薄膜在汽车发动机上产业化的方法在审
| 申请号： | 201510705272.6 | 申请日： | 2015-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN105220120A | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 高凯雄;张俊彦;张斌;强力;王健 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层复合类富勒烯薄膜在汽车发动机上产业化的方法。本发明通过阴极电弧与非平衡磁控溅射相结合的一体化技术，并配合高功率脉冲离子源来提高镀膜区域的等离子体密度技术，来实现多层复合类富勒烯薄膜在汽车发动机上的产业化。本发明所制备多层复合类富勒烯薄膜具有低摩擦系数、低磨损、高弹性回复、高结合力等优异的综合性能，可大幅度提高发动机质量及使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 复合 类富勒烯 薄膜 汽车发动机 产业化 方法 | ||
【主权项】：
一种多层复合类富勒烯薄膜在汽车发动机上产业化的方法，其特征在于，将要沉积薄膜的发动机部件依次通过除油、漂洗、除锈、漂洗、脱水的清洗装置后，装入真空腔中；将真空腔真空度依次通过机械泵、罗茨泵、分子泵、低温水汽泵抽至2.0×10‑3 Pa；在镀膜前利用高功率脉冲离子源进行高强度的气体离子轰击清洗，去除待镀工件表面的氧化/钝化层、污物和毛刺；接下来采用阴极电弧技术进行高能金属离子轰击来镀粘结层，然后利用高功率脉冲离子源离化反应气体，提高镀膜区域的等离子体密度，并配合非平衡磁控溅射技术依次在工件上沉积高性能金属氮化物、金属碳氮化物、类富勒烯薄膜的沉积。
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