[发明专利]一种波纹管运动密封装置在审
申请号: | 201510710239.2 | 申请日: | 2015-10-28 |
公开(公告)号: | CN106653541A | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
发明(设计)人: | 李幸夫 | 申请(专利权)人: | 北京中科信电子装备有限公司 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H01J37/147 |
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地址: | 101111 北京市通*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种波纹管运动密封装置,包括波纹管密封模块(1)、电机(2)、运动轴(3)、运动齿条(4)。其中运动齿条(4)安装在运动轴(3)上,经电机(2)运转带动运动齿条(4)及运动轴(3)运动。波纹管密封模块(1)安装在运动轴(3)上,运动轴(3)在真空与大气之间运动,通过安装在运动轴(3)上的波纹管密封模块(1)隔绝真空与大气。波纹管密封模块(1)通过压紧块(5)与焊接波纹管(7)将O型密封圈(6)固定在运动轴(3)上实现密封作用。焊接波纹管(7)为可伸缩性密封波纹管,与运动轴(3)一起进行上下往复的伸缩运动。 | ||
搜索关键词: | 一种 波纹管 运动 密封 装置 | ||
【主权项】:
一种波纹管运动密封装置,包括:波纹管密封模块(1)、电机(2)、运动轴(3)、运动齿条(4)。其特征在于本装置利用波纹管密封运动形式可杜绝原有的U型密封圈运动密封所带来需经常更换密封圈备件的麻烦。并且不会导致运动轴在运动中将大气中的杂物带进真空。
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