[发明专利]一种广泛适用的离子束电偏转元件设计方法在审
| 申请号： | 201510710269.3 | 申请日： | 2015-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106653543A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 王高腾 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/147 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种广泛适用的离子束电偏转元件设计方法，属于半导体装备领域。如图1所示是离子束电偏转元件设计说明图，离子束电偏转元件设计方法包括1、电偏转极板入口宽度d1；2、电偏转极板出口宽度d2；3、电偏转极板沿束流方向长度a；4、束流经过电偏转后的期望偏转角度α；该设计方法的主要思想是，首先给定偏转板入口宽度d1，束出偏转板时的期望偏转角α，束能量Ua，偏转电压为±U，根据这四个参量可计算出电偏转极板沿束流方向长度a、电偏转极板出口宽度d2；将区间(1，d2/d1)分成n个等间距点，有一个积分方程可以求出每一个纵坐标dz＝kd1(k＝1，2，...，n)所对应的横坐标z；根据以上计算，根据得到的坐标点(z，dz)，从而可将偏转板形状描绘出，如图2所示。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 广泛 适用 离子束 偏转 元件 设计 方法 | ||
【主权项】：
一种广泛适用的离子束电偏转元件设计方法，包括：电偏转极板入口宽度d1；电偏转极板出口宽度d2；电偏转极板沿束流方向长度a；束流经过电偏转后的期望偏转角度α。
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