[发明专利]基于微偏振片阵列的动态点衍射干涉仪

摘要

本发明公开了一种基于微偏振片阵列的动态点衍射干涉仪，包括激光器、位于激光器出射光束光路上的扩束准直系统、起偏器、第一四分之一波片和聚焦透镜；还包括衍射针孔位于聚焦透镜焦点处的衍射模板、衍射光路中的第二四分之一波片、被测件、成像透镜、微偏振片阵列和感光元件。由衍射模板的小孔中衍射的一部分光经第二四分之一波片到达被测件，由被测件反射的光再次经过第二四分之一波片后被衍射模板反射，经成像透镜和微偏振片阵列被感光元件接收；由衍射模板的小孔中衍射的另一部分光直接经成像透镜和微偏振片阵列被感光元件接收。本发明一次曝光即可获得四幅相移图像，达到实时检测的效果；简化了产生相移的装置，抗振要求降低。

主权项

一种基于微偏振片阵列的动态点衍射干涉仪，包括激光器(1)、沿该激光器出射光束光路上依次放置的扩束准直系统(2)、起偏器(3)、第一四分之一波片(4)和聚焦透镜(5)，以及位于该聚焦透镜(5)焦点处的衍射模板(6)，其特征在于，沿所述的衍射模板(6)一部分衍射光束光路上依次设置有第二四分之一波片(7)和被测件(8)，沿该衍射模板(6)另一部分衍射光束光路上依次设置有成像透镜(9)、微偏振片阵列(10)和感光元件(11)；由所述的衍射模板(6)衍射的一部分衍射光经第二四分之一(7)波片到达被测件(8)后被反射，该被测件(8)反射的光再次经过第二四分之一波片(7)到达衍射模板(6)后反射，该被衍射模板(6)反射的光经成像透镜(9)和微偏振片阵列(10)被感光元件(11)接收；由所述的衍射模板(6)的衍射的另一部分衍射光直接经成像透镜(9)和微偏振片阵列(10)被感光元件(11)接收；所述微偏振片阵列(10)单元尺寸与感光元件(11)像素尺寸相同，即一一对应关系,微偏振片阵列(10)集成在感光元件(11)靶面上，并且两者的单元相互对准。