[发明专利]气密密封用盖及其制造方法、电子零件收纳封装包在审
| 申请号： | 201510710709.5 | 申请日： | 2015-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN105575912A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 横山绅一郎;石尾雅昭 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/02 | 分类号： | H01L23/02;H01L23/10;H01L21/52 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张洋;臧建明 |
| 地址： | 日本东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种气密密封用盖及其制造方法、电子零件收纳封装包。盖设为包括：平板状的第1金属层；第2金属层，在第1金属层的平板状的一个面上具备；以及氧化皮膜层，在第1金属层的平板状的另一个面上具备；第1金属层的截面通过SEM-EDX而检测出2质量％～8质量％的Cr，第2金属层的表面通过SEM-EDX而检测出10质量％以下的Cr，氧化皮膜层的表面通过SEM-EDX而检测出超过10质量％的Cr。并且，电子零件收纳封装包设为将所述盖与收纳有电子零件的陶瓷框体经由玻璃结合层而结合。本发明可进行激光标记的读取及识别信息的辨别、气密密封的可靠性得到提高，且可期待实现电子零件收纳封装包的薄型化。 | ||
| 搜索关键词： | 气密 密封 及其 制造 方法 电子零件 收纳 封装 | ||
【主权项】：
一种气密密封用盖，其包括：平板状的第1金属层；第2金属层，在所述第1金属层的平板状的一个面上具备；以及氧化皮膜层，在所述第1金属层的平板状的另一个面上具备；并且所述第1金属层的截面通过扫描型电子显微镜上附带的能量色散型X射线光谱装置而检测出2质量％～8质量％的Cr，所述第2金属层的表面通过扫描型电子显微镜上附带的能量色散型X射线光谱装置而检测出10质量％以下的Cr，所述氧化皮膜层的表面通过扫描型电子显微镜上附带的能量色散型X射线光谱装置而检测出超过10质量％的Cr。
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