[发明专利]频率间隔连续可调的V型耦合腔双波长半导体激光器在审
申请号: | 201510711347.1 | 申请日: | 2015-10-28 |
公开(公告)号: | CN105281199A | 公开(公告)日: | 2016-01-27 |
发明(设计)人: | 何建军;胡志朋 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H01S5/10 | 分类号: | H01S5/10;H01S5/02 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 林超 |
地址: | 310027 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种频率间隔连续可调的V型耦合腔双波长半导体激光器。第一有源谐振腔与第二有源谐振腔在一端以V形相耦合形成多模耦合区,多模耦合区的端面具有腔面反射面,第一有源谐振腔的另一端和第一无源滤波器之间通过深刻蚀槽串联构成激光器的一臂;第二有源谐振腔的另一端和第二无源滤波器之间通过深刻蚀槽串联构成激光器的另一臂;第一有源谐振腔和第二有源谐振腔上设有浅刻蚀槽。本发明的激光器具有结构紧凑,制作工艺简单,成本较低,无需外部参考光源等优点。 | ||
搜索关键词: | 频率 间隔 连续 可调 耦合 波长 半导体激光器 | ||
【主权项】:
一种频率间隔连续可调的V型耦合腔双波长半导体激光器,包括第一有源谐振腔(2)、第二有源谐振腔(3)、第一无源滤波器(4)和第二无源滤波器(5);其特征在于:第一有源谐振腔(2)与第二有源谐振腔(3)一端之间以V形相耦合形成多模耦合区(1),多模耦合区(1)的端面具有腔面反射面(7),多模耦合区(1)为四分之一波长耦合区;第一有源谐振腔(2)的另一端和第一无源滤波器(4)之间通过用于部分反射的深刻蚀槽(6)串联构成激光器的一臂;第二有源谐振腔(3)的另一端和第二无源滤波器(5)之间通过用于部分反射的深刻蚀槽(6)串联构成激光器的另一臂;多模耦合区(1)所在的第一有源谐振腔(2)波导与第一有源谐振腔(2)其余波导之间设有用于电隔离的浅刻蚀槽(18),多模耦合区(1)所在的第二有源谐振腔(3)波导与第二有源谐振腔(3)其余波导之间设有用于电隔离的浅刻蚀槽(18)。
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