[发明专利]真空硒化装置和真空硒化的方法有效
| 申请号： | 201510712505.5 | 申请日： | 2015-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN105256285B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 常有军;黄福林;刘远宏 | 申请（专利权）人： | 河北曹妃甸汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;H01L31/032 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李志东 |
| 地址： | 063200 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种真空硒化装置和真空硒化的方法。该装置包括：本体，所述本体内限定出真空硒化空间；硒蒸汽回收单元，所述硒蒸汽回收单元设置在所述本体的内壁上；以及真空泵，所述真空泵设置在所述本体的外壁上，并且所述真空泵与所述硒蒸气回收单元相连。由此，可以将硒蒸汽回收单元与真空泵分开设置，进而可以避免对真空泵进行频繁的周期性清理维护，进而可以提高该装置的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 化装 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空硒化装置，所述真空硒化装置为一体化物理气相沉积溅射设备，其特征在于，包括：本体，所述本体内限定出真空硒化空间；基体，所述基体位于所述真空硒化空间；硒蒸汽供给单元，所述硒蒸汽供给单元与所述本体相连，且适于向所述真空硒化空间中供给硒蒸汽；硒蒸汽回收单元，所述硒蒸汽回收单元可拆卸地设置在所述本体的内壁上，所述硒蒸汽回收单元包括壳体以及冷却单元，所述冷却单元设置在所述壳体上；以及真空泵，所述真空泵设置在所述本体的外壁上，并且所述真空泵与所述硒蒸气回收单元通过连接法兰相连，所述真空泵为分子泵。
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