[发明专利]麦克风及其制备方法

摘要

本申请涉及一种麦克风，包括：具有一个或多个第一穿透孔的第一基底；布置在第一基底上并覆盖第一穿透孔的振动膜；以预定距离布置在振动膜之上并具有多个进气孔的固定膜；以及通过结合衬垫接合到固定膜上的相位延迟部件，所述相位延迟部件具有与一个或多个第一穿透孔连接的多个第二穿透孔，并在第二穿透孔中具有相位延迟材料。本申请还涉及制备包括相位延迟部件的麦克风的方法。

主权项

1.一种制造麦克风的方法，包括以下步骤：制备具有第一和第二相对表面的第一基底，然后在所述第一基底的第一相对表面上形成具有氧化物膜和多个槽的振动膜；在所述振动膜之上形成各自具有第一和第二相对表面的牺牲层和固定膜，然后形成贯通所述固定膜的多个进气孔；放置要与所述固定膜连接的第一衬垫、要与所述振动膜连接的第二衬垫、以及用于与相位延迟部件接合的结合衬垫；通过蚀刻所述第一基底的第二相对表面形成第一穿透孔，并通过部分蚀刻所述氧化物膜和所述牺牲层在所述固定膜与所述振动膜之间形成空气层；以及将相位延迟部件接合到所述结合衬垫上，其中所述相位延迟部件通过以下步骤形成：制备具有第一和第二相对表面的第二基底，然后通过蚀刻所述第二基底的第二相对表面形成沟槽；形成多个贯穿所述第二基底的沟槽和第一相对表面的第二穿透孔；将催化剂沉积在所述第二基底的第一相对表面和第二穿透孔；以及用所述催化剂合成碳纳米管CNT。