[发明专利]一种超精密磨削磨头及其使用方法在审
申请号: | 201510716343.2 | 申请日: | 2015-10-29 |
公开(公告)号: | CN105290916A | 公开(公告)日: | 2016-02-03 |
发明(设计)人: | 彭利荣;马占龙;赵越;朱峰;隋永新;杨怀江 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | B24B13/00 | 分类号: | B24B13/00;B24B13/01;B24B55/02 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 南小平 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种超精密磨削磨头及其使用方法,属于光学先进制造领域,以解决大中型平面镜加工中铣磨面形收敛差、亚表面损伤层深、后续抛光效率低的问题。该超精密磨削磨头包括圆饼状的基底,含金刚石微粉的圆饼状丸片,具有导流作用的中空连接杆,导流槽,所述的金刚石丸片用胶粘的方式均布在磨头基底上并用铣磨机床修整到较高的平面度,所述的连接杆与基底为一体式结构并与机床主轴相连,所述连接杆中央的导流槽可以在加工过程中提供冷却液。本发明的磨头制作工艺简单,成本低廉,使用安全可靠;采用的超精密磨削磨头对大口径平面进行有效的磨削,有效提高光学元件的表面面形,降低亚表面损伤层深度,显著提高后续抛光加工的效率和精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 精密 磨削 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
一种超精密磨削磨头,其特征在于,包括:圆饼状的基底(2),含有金刚石微粉的圆饼状丸片(3),具有导流作用的中空连接杆(4),导流槽(6);所述的丸片(3)均布在基底(2)上;所述的连接杆(4)与基底(2)为一体式结构并与机床主轴相连;所述连接杆(4)中央的导流槽(6)可以在加工过程中提供冷却液。
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