[发明专利]基板传送装置及基板曝边方法在审
| 申请号： | 201510718566.2 | 申请日： | 2015-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN105416973A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 孙鲁男 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G13/00 | 分类号： | B65G13/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板传送装置及基板曝边方法。该基板传送装置在传送平台(1)的上方设有第一、第二曝边模组(21、22)，在传送平台(1)的下方设有第一、第二定位柱(31、32)，在基板(4)的传送过程中可配合第一、第二定位柱(31、32)，通过第一、第二曝边模组(21、22)对基板(4)的四周边缘进行曝光，以除去基板(4)四周边缘残留的光阻，无需额外购买一台曝边机，节省机台成本。该基板曝边方法，通过设置在基板传送装置中的第一、第二曝边模组(21、22)和第一、第二定位柱(31、32)的相互配合，实现在传送基板(4)的同时对基板(4)进行曝边，除去基板(4)四周边缘残留的光阻，节省机台成本。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 装置 基板曝边 方法 | ||
【主权项】：
一种基板传送装置，其特征在于，包括传送平台(1)、相对设于传送平台(1)两侧上方的第一、第二曝边模组(21、22)、及沿传送平台(1)的传送方向间隔设于传送平台(1)下方的第一、第二定位柱(31、32)；所述传送平台(1)用于传送基板(4)；所述基板(4)具有第一、第二、第三、第四边缘(41、42、43、44)，所述第一边缘(41)与第四边缘(44)相对且与传送平台(1)的传送方向垂直，所述第二边缘(42)与第三边缘(43)相对且与传送平台(1)的传送方向一致；所述第一、第二、第三、第四边缘(41、42、43、44)上具有待曝光的残留光阻；所述第一定位柱(31)位于第一、第二曝边模组(21、22)之间；所述第一、第二定位柱(31、32)能够相对于传送平台(1)上升与下降；所述第一、第二定位柱(31、32)之间的距离与基板(4)在传送方向上的尺寸相适应；当基板(4)停靠于第一定位柱(31)处时，基板(4)的第一边缘(41)位于第一、第二曝边模组(21、22)的下方；当传送平台(1)带动基板(4)经过第一定位柱(31)向第二定位柱(32)移动时，基板(4)的第二、第三边缘(42、43)分别经过第一、第二曝边模组(21、22)的下方；当基板(4)停靠于第二定位柱(32)处时，基板(4)的第四边缘(44)位于第一、第二曝边模组(21、22)的下方；从而实现在基板(4)的传送过程中，通过第一、第二曝边模组(21、22)对基板(4)的第一、第二、第三、第四边缘(41、42、43、44)上的残留光阻进行曝光。
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