[发明专利]一种H3PO4槽小换酸的控制方法

摘要

本发明涉及技术方法技术领域，尤其涉及一种H3PO4槽小换酸的控制方法，在将H3PO4槽的跑货量换算成氮化物的第一刻蚀量的基础上，将H3PO4槽的累积的空闲时间换算成氮化物的第二刻蚀量，通过判断所述第一刻蚀量与所述第二刻蚀量之和是否达到设定的第一阈值来判断是否触发小换酸，本技术方案优化了H3PO4槽小换酸的控制方法，实现了H3PO4对SiO2刻蚀速率的稳定控制。

主权项

一种H3PO4槽小换酸的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：记录H3PO4槽的跑货量，根据所述跑货量计算氮化物的第一刻蚀量；记录H3PO4的累积的空闲时间，根据所述累积的空闲时间计算氮化物的第二刻蚀量；根据所述第一刻蚀量和所述第二刻蚀量计算所述氮化物的刻蚀量；判断所述氮化物的刻蚀量是否大于第一阈值，若不是，则不触发小换酸操作，继续执行所述第一刻蚀量、所述第二刻蚀量及所述氮化物的刻蚀量的累积计算操作；若是，则执行H3PO4槽小换酸，且所述第一刻蚀量、所述第二刻蚀量及所述氮化物的刻蚀量均归零。